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[] 怎样让光学平台更好的发挥性能？

光学平台广泛运用于各个领域中，随着先进的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求
发布时间：2020-04-17 点击次数：72

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